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如何為半導(dǎo)體應(yīng)用選擇IFM傳感器？
點擊次數(shù)：448 更新時間：2022-10-22
半導(dǎo)體行業(yè)幾乎影響著當(dāng)今生活的方方面面。您每天使用的手機、計算機、電視、汽車和其他電子設(shè)備都依賴于半導(dǎo)體的存在，這些應(yīng)用需要專業(yè)的高純度設(shè)備和儀器來確保安全、高效運行。
因此，IFM傳感器對于半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要，如何選擇適用于半導(dǎo)體應(yīng)用的IFM壓力傳感器？本文將重點介紹半導(dǎo)體應(yīng)用過程中所涉及的因素，以便為您的實際應(yīng)用選擇合適的設(shè)備。
半導(dǎo)體應(yīng)用中IFM傳感器的關(guān)鍵因素：
一、污染控制
為了降低成本并提高性能，半導(dǎo)體制造不斷面臨著增加晶片中電路數(shù)量和密度的挑戰(zhàn)。為了使電路圖案變得越來越小，在半導(dǎo)體工藝過程中需要進(jìn)行大范圍的污染控制，以避免即使是小的外來顆粒也不會對暴露的晶片表面造成損壞。
二、光滑的表面
光滑的表面減少了暴露在使用過程中的表面積，并減少了在安裝期間和重復(fù)使用后水分或異物粘附在儀器上的機會。
三、高質(zhì)量材質(zhì)
傳感器的材料必須與過程介質(zhì)兼容并具有可靠的質(zhì)量。高純度等級的316L不銹鋼常用于IFM壓力傳感器，因為它們具有高耐腐蝕性和抗氫脆性——這些因素會影響傳感器的長期安全性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性。
四、安全認(rèn)證
此外，半導(dǎo)體氣體可能易燃易爆有毒，因此必須選擇具有防爆認(rèn)證的IFM傳感器，以解決至關(guān)重要的安全問題。
